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SGLGM-90540A, 安川電機 大型基板精密検査用リニアモーターシステムリニアモーター本体部型式A:SGLGW-90A370BP, 一式 SGDV5R5A-05A-Jシリアル変換ユニットZDP-D006-260EB:SGLGW-60A365BP, サーボパックA: SGLGM-60360B サーボパックB SGDV180A05A-シリアル変換ユニットJZDPD006-265-Eデジタルオペレーター::JUSP-OP05A-1-E 各1、CN用端子台変換ユニット各1THK社 定盤取り付け用リニアガイド: 各2ハイデンハイン社パルス信号調整用チェッカーPWT-18
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